ＷＥＴ関連装置

当社の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で、半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

枚葉スピンプロセッサー

基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行います。装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥）

  • スピン/遠心力により、優れた均一性と再現性、除去性能
  • 無駄を省いた小フットプリント（W1000×D1500×H110）〜W1800×D2400×H2000
  • ワークサイズ：160W×170L以下〜730W×920L以下
    上記以外のサイズﾞについては別途ご相談ください）

枚葉基板洗浄装置

基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。

 

  • UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上
  • UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
  • 基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化

マスク洗浄装置

マスクをブラシ及びUSスプレーにて洗浄し、高速スピン回転により乾燥を行います。

 

  • インテリジェンスコントロールによるマスク基板へのソフトコンタクト
  • メカニカルサイドグリップ方式を採用したマスクパターン非接触
  • 自動マスク反転機構を備えた両面洗浄技術
  • 超音波ノズルによるスキャンスプレー洗浄

その他洗浄・エッチング等の装置のご相談は・・・。

上記の洗浄、エッチング他の装置以外にも、部品、食品他、様々な対象物、あらゆる業界のお客様のオーダー、ニーズにお応えします。つきましては、当社　営業もしくは設計まで、ご相談ください。

営業・マーケティング部、製造技術部　

E-mail：info@denshigiken.co.jp

TEL ： 072-943-2006

FAX ： 072-943-2007