装置に付随する加工パーツをご提供します。
各種流量計や継手等ガス流量関連部品からシリンダ等の駆動系、静電チャックまで各種メーカーの部品を取り扱います。

• 各種流量計（マスフローコントローラー、レギュレーター、他）
• 各種コントローラ
• 各種センサー
• 各種バルブ（電磁弁、ベローバルブ、高低圧バルブ他）
• 電動シリンダ
• 静電チャック　　他

装置に付随する加工部品をご提供します。 アルミ、ステンレス等の金属製品からテフロン、セラゾール、セラミック製品等の樹脂製品、石英・セラミック製品まで対応します。 古い設備等で図面がないものでも、ご相談ください。

• アルミ、ＳＵＳ等の金属製品
• テフロン、ベスペル、セラゾール等の樹脂製品
• 石英製品
• セラミック製品