装置／関連機器関係

創業以前より取組んできた真空プラズマ装置を始め、各種搬送装置他、お客様のニーズやオーダーに応じた装置をご提供します。

• ドライエッチング、アッシング装置
• プラズマクリーニング・表面改質装置
• ＬＣＤ等基板搬出装置
• ＷＥＴ関連装置、薬液供給装置
• その他

装置／関連機器関係に伴う取扱部品

装置及びその他精密装置に関連する各機器、部品を取扱いしております。

• アルミ、ステンレス等の金属加工部品及びセラミック、石英加工部品
• テフロン、ベスペル、セラゾール等の各種樹脂加工部品
• 各種流量計、フィルター（マスフロー、電磁流量計等）
• 各種バルブ（高低圧バルブ、ベローバルブ弁、ダイヤフラム弁）
• 各種ヒーター
• 各種真空機器（真空ゲージ、真空ポンプ、真空バルブ等）
• 高周波電源ユニット
• 除害機　他

その他、工場内関連備品

作業用テーブルや台車、棚他、新たに工場立上時などには、思った以上にコストが掛かるものです。
当社はこれらの備品を纏めてお受けすることにより、お客様のご要望にあった商品を低価格でご提供します。

メンテナンスサービス

半導体／ＬＣＤ製造装置及びその他精密装置のセットアップ及び保守メンテナンス、オーバーホールから デバイスメーカー様等の工場内既存装置の保守委託まで請負います。

＜主なメンテナンス内容実績＞